| 產(chǎn)品 | 流量(m3/h) |
純度 | 出冷箱壓力（MPaG） | 備注 |
| 氧氣 | 15000 |
≥99.6% O2 |
0.015 |
|
| 氮?dú)?/td> | 15000 |
≥99.99% N2 |
0.012 |
|
| 液氧 | 200 |
≥99.6% O2 |
0.1 |
|
